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This is the first book to address the optimization of resolution enhancement techniques in optical lithography. It provides an in-depth discussion of RET tools that use model-based mathematical optimization approaches.
Fundamentals Of Photonics
de Bahaa E. A. Saleh e Malvin Carl Teich
Free Space Optical Systems Engineering
de Larry B. Stotts
Fundamentals Of Infrared And Visible Detector Operation And Testing
de John David Vincent, Steve Hodges, Greg Pierce, (...)
Statistical Optics
de Joseph W. Goodman
Optomechanical Systems Engineering
de Keith J. Kasunic
Computational Lithography
de Gonzalo R. Arce e Xu Ma
Nonlinear Signal Processing
de Gonzalo R. Arce
Boundaries And Bodhisattvas
de Xu Ma
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