Computational Lithography

de Gonzalo R. Arce e Xu Ma 

Bertrand.pt - Computational Lithography
idioma: Inglês
Editor: JOHN WILEY & SONS INC
Edição: agosto de 2010
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This is the first book to address the optimization of resolution enhancement techniques in optical lithography. It provides an in-depth discussion of RET tools that use model-based mathematical optimization approaches.

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Computational Lithography
ISBN:
9780470596975
Ano de edição:
08-2010
Editor:
JOHN WILEY & SONS INC
Idioma:
Inglês
Encadernação:
Capa dura
Páginas:
256
Tipo de Produto:
Livro
EAN:
9780470596975
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