Wafer Fabrication

Automatic Material Handling System

de Jie Zhang 

Bertrand.pt - Wafer Fabrication
idioma: Inglês
Editor: De Gruyter
Edição: setembro de 2018
152,57€
Esgotado ou não disponível

This book systematically introduces modeling, performance evaluation and applications of Automatic Materiel Handling System (AMHS) in semiconductor manufactucing, and focuses discussion on the coordination of two subsystems. Resources dispatch and o

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De Gruyter
eBook
Wafer Fabrication
Automatic Material Handling System
ISBN:
9783110486902
Ano de edição:
09-2018
Editor:
De Gruyter
Idioma:
Inglês
Dimensões:
170 x 240 x 20 mm
Encadernação:
Capa dura
Páginas:
284
Tipo de Produto:
Livro
Classificação Temática:
EAN:
9783110486902
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