Optical Lithography For Advanced Semiconductor Patterning

de Peter De Bisschop 

Bertrand.pt - Optical Lithography For Advanced Semiconductor Patterning
idioma: Inglês
Editor: SPIE PRESS
Edição: maio de 2025
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Optical lithography drives modern microchip fabrication through advanced high-NA extreme-ultraviolet techniques that shape image quality inside resist layers. The text gradually unfolds the complexities of image formation with mathematics, examples, and dedicated case studies for scientifically inclined readers.

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Optical Lithography For Advanced Semiconductor Patterning
de Peter De Bisschop 
ISBN:
9781510680333
Ano de edição:
05-2025
Editor:
SPIE PRESS
Idioma:
Inglês
Encadernação:
Capa dura
Páginas:
1156
Tipo de Produto:
Livro
EAN:
9781510680333
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