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The successful launch of viable MEMs product hinges on MEMS reliability, the reliability and qualification for MEMs based products is not widely understood.
Mems Reliability
de Allyson L. Hartzell, Herbert R. Shea e Mark G. Da Silva
Multi-Wafer Rotating Mems Machines
Photonic Microsystems
de Olav Solgaard
Radioisotope Thin-Film Powered Microsystems
de Rajesh Duggirala, Shankar Radhakrishnan e Amit Lal
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