Handbook For Cleaning For Semiconductor Manufacturing

Fundamentals And Applications

 

eBook
Bertrand.pt - Handbook For Cleaning For Semiconductor Manufacturing
idioma: Inglês
Editor: WILEY
Edição: fevereiro de 2011
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This comprehensive volume provides an in-depth discussion of the fundamentals of cleaning and surface conditioning of semiconductor applications such as high-k/metal gate cleaning, copper/low-k cleaning, high dose implant stripping, and silicon and SiGe passivation.

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WILEY
eBook
Handbook For Cleaning For Semiconductor Manufacturing
Fundamentals And Applications
ISBN:
9781118071731
Ano de edição:
02-2011
Editor:
WILEY
Idioma:
Inglês
Tipo de Produto:
eBook
Formato:
PDF para ADE i
EAN:
9781118071731
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