Soft X-Rays And Extreme Ultraviolet Radiation

Principles And Applications

de David Attwood 

Bertrand.pt - Soft X-Rays And Extreme Ultraviolet Radiation
idioma: Inglês
Editor: CAMBRIDGE UNIVERSITY PRESS
Edição: fevereiro de 2007
59,21€
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This self-contained, comprehensive book describes the fundamental properties of soft X-rays and extreme ultraviolet (EUV) radiation and discusses their applications in a wide variety of fields, including EUV lithography for semiconductor chip manufacture and soft X-ray biomicroscopy. The book will be of great interest to graduate students, researchers and practising engineers.

Soft X-Rays And Extreme Ultraviolet Radiation
Principles And Applications
ISBN:
9780521029971
Ano de edição:
02-2007
Editor:
CAMBRIDGE UNIVERSITY PRESS
Idioma:
Inglês
Encadernação:
Capa mole
Páginas:
504
Tipo de Produto:
Livro
EAN:
9780521029971
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